主動隔振平臺由減振平臺和控制器兩部分組成。減振平臺采用精密金屬彈簧實現被動隔振,由精密直線電機實現主動減振,用于反饋控制檢測的速度傳感器采用超精密震動探頭,所有零部件封閉在機體內,系統運行時不需提供額外壓縮空氣,能自適應調節地基前饋,實現自由度減振。低頻振動能量大,波長長,距離大,電鏡對低頻振動敏感,電鏡內部有氣缸(被動),自行可以消除中高頻振動。高頻振動可以換位置解決,低頻振動難以通過被動去解決,用于將超精密儀器與低頻振動隔離,人體工程學設計使用戶可以舒適地執行要求應用。另外,桌子支架底部安裝腳輪和調平腳,使用戶可以將桌子放在所需的位置。
主動隔振平臺可以從0.7Hz開始隔離振動,適合用于得到更大低頻隔振性能,對于在1-10Hz范圍內的隔振效果很是明顯,而精密儀器設備對于1-10Hz的振動是很敏感的,便攜、緊湊型的設計,可以非常輕松地安裝在工作臺或者桌面上,對于輸入參數的只有一個要求就是要通過標準的交流電接口供電。
主動隔振平臺能夠克服一般光學平臺以及氣浮平臺低頻共振,配合隔音箱能夠隔絕空氣的擾動,能夠給精密測量提供振動隔離,適用于時間頻率測量、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡,被設計用來使超精密儀器設備可以隔離來自于建筑地面的振動,可隔離的頻率低于1Hz,該系統可理想應用于光學顯微鏡、掃描探針顯微鏡及計量儀器,可以輕松選擇并設置三個增益中的一個以獲得適合當前環境的良好性能。