TMC主動消振平臺系統(tǒng)Stage-Base繼續(xù)在先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主動消振系統(tǒng)。

TMC氣浮綜合性主動隔振系統(tǒng)，LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。

賽默飛世爾定制版SEM主動隔振平臺，SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動壓電振動消除平臺的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。

SEM主動隔振平臺，SEM-Base®VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動水平。

TMC地面式主動隔振光學(xué)平臺，對于傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室地面，隔離高大工具的建筑地面振動是一個人體工程學(xué)領(lǐng)域的挑戰(zhàn)。將隔振器直接放置在工具下方可能會將工具抬高到一個不切實(shí)際的高度。此外，傳統(tǒng)空氣隔振器放置在一個較高、上重下輕的有效載荷之下時不穩(wěn)定。

TMC地面式主動隔振平臺STACIS Quiet Island半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計(jì)量設(shè)備。活動地面無法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。